图6所示为用纳米晶颗粒膜制作的微型平面电感器,其工作频率为5MHz,用于DC/DC变换器.该电感为多层结构,具有10×10(mm2)矩形螺旋线圈,上下以磁膜把线圈夹在中间.磁膜和线圈用合成树脂粘合在一起,故保持着平面夹层结构。
b.磁通门磁传感器
图7所示为用高电阻率磁膜制作的磁通门磁传感器的结构示意图。其励磁线圈(Ne)和检测线圈(Na)在一起形成螺线管结构(Ne=10匝,Nd=10匝)。其构成是把3μm厚度的矩形磁膜(2×6mm2插入螺线管的内腔,在难磁化方向(矩形膜的短轴)上励磁。
C.性能分析
(1)运用平等线法,测量出这些磁膜的磁导率μ与频率f的相互关系。这类Fe(Co-Fe)-Hf-O磁膜的磁导率有良好的频率响应特性以及低的损耗(tanδ)(见图8所示)。