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纳米晶磁膜及其在微型
[发布时间]：2010年10月20日 [来源]：电子变压器资讯网 [点击率]：45390
【导读】： 接要：本文介绍以Fe基、Co为主体的磁性合金纳米颗粒膜和纳米多层膜的制备工艺技术与理论分析，重点介绍纳米颗粒膜。纳米颗粒膜是微型磁性器件的基础，它们在准微波波段到微米波段具有优良的软磁特性，文章论...

3纳米晶颗粒膜在微型磁性器件中的应用

本文讨论软磁性能优良而且电阻率高的纳米晶Fe(Co-Fe)-Hf-O磁性颗粒膜设计制作的微型薄膜电感器和微型薄膜磁通门传感器。

3.1磁性颗粒膜制作及微型器件结构

3.1.1磁性颗粒膜的制作

纳米晶Fe(Co-Fe)-Hf-O颗粒膜的制作方法如前节所述，是采用射频溅射沉积法，在玻璃片上生成高电阻率的磁膜。表2列出了这种3μm的磁膜的一些性能，为作比较，表中还列入了Co-Ta-Hf非晶金属膜的一些性能。

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