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纳米晶磁膜及其在微型磁性器件中的应用（二）
[发布时间]：2010年8月18日 [来源]：电子变压器资讯网 [点击率]：21242
【导读】： 2.1.4后期处理溅射纳米晶颗粒膜的后期处理是在真空状态下10-6Torr，分别在静磁场（UFA）和旋转磁场（RFA）中进行的。热处理的温度范围为100～600℃，保温1小时，升降温速度为100℃...

表2几种磁膜主要性能指标 

磁膜名称

指标

Fe-Hf-O

Co-Fe-Hf-O

Co-Ta-Hf

成分(at%)

Fe61Hf13O26

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