俄罗斯自造EUV光刻机
[发布时间]:2022年5月17日
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【导读】: 4月3日,据外媒报道,俄罗斯莫斯科电子技术学院(MIET)已经接下了贸工部的6.7亿卢布资金(约合5100万元人民币),准备研发制造芯片的光刻机,并号称该款光刻机工艺可以达到EUV级别! 据悉,...
4月3日,据外媒报道,俄罗斯莫斯科电子技术学院(MIET)已经接下了贸工部的6.7亿卢布资金(约合5100万元人民币),准备研发制造芯片的光刻机,并号称该款光刻机工艺可以达到EUV级别!
据悉,该光刻机项目技术原理与ASML完全不同,他们研发的是基于同步加速器和等离子体源的无掩模X射线光刻机。
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