据悉,爱思强股份有限公司(AIXTRONSE)已將壹個新的研发用集簇设备投入运营,該集簇设备可展示用於生產有機半导体的核心制程,生產OLED及柔性電子元件需要进行有機薄膜沉积的各种不同制程,而此集簇设备將有助於实現工业制造条件下有效展示有关生產流程。
該集簇设备已经安装在AIXTRON爱思强的洁净室,包括用於在200x200mm2基材有機材料沉积的若干工艺模块(“Gen1壹代”)。該规格有助於AIXTRON爱思强在成本及布局允許范围内、在元件层面上為潜在客戶展示其沉积技術的优势。該展示设备的核心是AIXTRO爱思强的三個OVPD?(有機气相沉积)模组及壹個PVPD(聚合物气相沉积)模组。这些模组嵌在自动化的集簇环境中,并通過多個处理模块及有关基础结构进行增补。
负责有機半导体部門AIXTRON爱思强业务发展总监JuergenKreis解释道:“我们的研发用集簇设备將為工业客戶及研究伙伴提供在元件层面上全面展示各种制程的集成环境。完美整合前期及后期生產流程,以及进壹步检测元件的特征值延展性將可快速及全面展示我们的核心技術有機气相沉积?及PVPD所提供的具体优势。”
AIXTRON爱思强首席执行官MartinGoetzeler表示:“有機半导体对於AIXTRON爱思强具有重大的战略意义。有機发光二极管OLED在未來尤其是有潜力被广泛應用於顯示器及壹般照明用途。因此,我们已经显著提高对該领域的投資(如对研发用集簇设备的投資)并且推进研发速度。通過这种方式,我们能够满足客戶对提高测試及展示可能性的广泛需求,特别是协助我们客戶做出未來投資决定。我坚信我们的有機半导体生產系統將在未來的市場中扮演关键角色。”
AIXTRON爱思强专有的有機气相沉积?及PVPD流程技術能够以高材料效率及高沉积率生產高质量的有機薄膜,用於有機发光二极管OLED、有機電子產品及其他功能元件。高效率、大规模生產有機薄膜被視為进壹步提高有機发光二极管OLED市場渗透率的关键。