导读：近日，先进制造领域863课题“汽车电子稳定程序（ESP）微传感器及系统”项目宣布取得成果，研发出了具有自主知识产权的汽车用ESP

仪器系统。据介绍，在研发过程中，课题组突破了6英寸MEMS传感器芯片工艺技术。同时还通过实验，验证了MEMS传感器的性能与可靠性，这两

项指标满足了ESP系统的要求。
 　　
 　　近日，先进制造领域863课题“汽车电子稳定程序（ESP）微传感器及系统”项目宣布取得成果，研发出了具有自主知识产权的汽车用ESP

仪器系统。
 　　
 　　据悉，课题组研究人员针对汽车电子应用需求，对MEMS陀螺仪和加速度传感器的结构进行了优化设计，开发出了基于体硅SOI和圆片级封

装工艺的低成本MEMS微陀螺和微加速度计芯片，攻克了数字化陀螺仪电路设计和加速度计ASIC电路设计技术和预成型空腔塑封封装技术，研制

出了自主知识产权的ESP用MEMS陀螺仪和加速度计产品。
 　　
 　　据介绍，在研发过程中，课题组突破了6英寸MEMS传感器芯片工艺技术。在传感器芯片的制造过程中，采用了PCM监控和SPC控制技术，实

现了微传感器关键工艺参数的在线监测，建立了微传感器圆片在片自动测试平台，掌握了MEMS传感器批量化制造技术，MEMS陀螺仪芯片加工成

品率达到80%，MEMS加速度计芯片成品率达到90%。课题研制出的基于MEMS陀螺仪和加速度传感器的汽车ESP系统，完成了硬件和算法的初步研究

、ESP系统的匹配试验和搭载验证和ESP系统的路试和抗干扰试验。同时还通过实验，验证了MEMS传感器的性能与可靠性，这两项指标满足了ESP

系统的要求。
 　　
 　　据悉，截至目前，该课题已申请4项发明专利。