据报道，一支来自新加坡一家微电子研究所A*STAR的团队制作出一种小型的传感器，这个团队的主要目标是制造出一种可植入的微型医疗设备

，现这一目标还需要依靠广泛的电路研究和测试。这种传感器将一个稳定的膜片与易传感的硅纳米线结合在一起，从而使得MEMS压力传感器可

以更稳定耐用，适用于医疗器械。
 
原则上来讲，设计一个小型的压力传感器是很简单的：一个压力变形隔膜嵌入一个压敏电阻器就可以了，这个压敏电阻器必须是由硅纳米线等

会由压力引起抗电阻性变化的材料制成。但事实上却会出现问题，包括电路设计和和脆弱的组件，任何地方出现差错都是商用传感器的致命伤

。
 
由于这个隔膜必须将很小的压力变化传到到压敏电阻器，同时要抵抗变形和破损，因此，这个隔膜材料的选择就显得至关重要。于是罗和他的

同事们想到用二氧化硅来展现完美的压力传感性能。然而，二氧化硅虽有优越的传感性能，但也不能战胜易弯曲性这个弱点。所以，罗将解决

方案改为用双层的二氧化硅，同时将压阻式的硅纳米线放在两者中间，顶层再加一层性能稳定的氮化硅。
 
通过蚀刻氮化硅和变化厚度、调整硅纳米线，这个团队最终发现了最优的组合。最后的传感器成功地满足了抵抗变形和机械损坏的同时仍然可

以提供在压力感应下电输出的线性变化，符合高精度的医疗器械应用要求。