最近，日本某公司和宇宙航空研究开发机构共同开发了用于国产火箭的高精度MEMS陀螺仪。该陀螺仪是用于监测火箭及卫星等航空、航天器航行位置的重要设备，新型MEMS陀螺仪精度比原有陀螺仪提高了一个数量级，达到了0.1°∕h。

在传感器行业快速发展的今天，芬兰VTI作为全球领先的加速度传感器，陀螺仪生产商为传感器发展提供了良好的发展机遇，芬兰VTI公司成功研发并生 产了基于先进的3DMEMS技术的陀螺仪(角速率传感器)。基于VTI公司20年MEMS的成功经验，VTI的 MEMS陀螺仪产品，具有温度漂移小，性能稳定，性价比高以及抗冲击力强等特点。目前，陀螺仪已广泛应用于智能手机和数码相机等民用电子产品。在航空、航 天器上则至少需要安装一个陀螺仪，使用激光作为光源的光学式陀螺仪是现行的主流设备。但光学陀螺仪存在结构复杂、技术要求高、耗电量大、成本高等缺陷，而 MEMS陀螺仪由于精度较低，不满足航空、航天器的需要。

日本对该公司精度最高的MEMS陀螺仪进行了改良，将温度特性校正方式由模拟改为数字以提高校正精度，并改善了传感头的材料和结构。通过改进，陀螺 仪的组成部件减少了一半，同时减轻了重量。之前在H2A火箭上搭载的光学式陀螺仪由玻璃和激光器件构成，新型MEMS陀螺仪在精度不变的情况下，价格是光 学式陀螺仪的百分之一(约为几十万日元)。