虽然,通过掺杂实现 n 沟道器件操作还有很多需要改进的地方,但顶栅结构的器件确实具有令人意想不到的优势。与底栅结构相比,目前硅晶体管中使用的顶栅器件结构更容易实现器件之间的复杂连接,同时也能实现更高的器件集成密度。
所以,除了与钴钼合金触点端接的纳米管通道之外,纳米管的顶部也覆盖有一层超薄的高介电氧化物,作为具有金属顶栅的栅极介电层。
当然,作为一项全新技术,曹庆也承认,在高性能纳米管逻辑晶体管真正成为商业化技术之前,还有一些制程方面的问题需要解决。
曹庆表示,目前阶段的主要挑战是器件的稳定性,但最终团队希望能将数十亿纳米管晶体管集成到功能电路中。为了做到这一点,团队需要保证晶体管之间良好的一致性,从而实现在相同电压下,所有晶体管都能正常工作。
尽管在过去几年中,半导体纳米管的纯度已得到显著改善,经过通电检测,其纯度已经升到了99.999%以上,但制造过程需要更稳定和更加标准化,从而能够保证将来大批量生产时的可靠性。

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