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上海工研院面向MEMS的8寸研发中试线6月底将投运
[发布时间]：2017年5月24日 [来源]：集微网 [点击率]：2871
【导读】： 近5000平方米的洁净室，每一块地板的孔洞数量，为了循环洗涤都经过精准计算。其中用来曝光和显影的“黄光区”，洁净度更高，1分钟内1立方英尺的空间大于0.2微米的微尘必须少于10颗。这里正是上海微技...

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