台湾是半导体大国,但相关设备却都仰赖国外进口,国家实验研究院仪科中心与LED磊晶龙头晶电,以及先进半导体封装设备商均华精密合作,共同开发「芯片瑕疵检测设备」,仪器检测取代人力,制造成本省一半,更有利于抢下一线生产厂之订单。
近年智能手持与穿戴装置普及且技术趋向成熟,对IC检测精密度与效能要求也随之提高。仪科中心指出,自动化光学检测设备市场规模持续成长,预估全球智能化影像检测分析之产值,将于5年内攀升至390亿美元。
一般来说,半导体芯片完成繁复的集成电路制程后,必须透过「拣晶机」挑选无问题芯片再行封装。仪科中心组长黄吉宏表示,目前市场上芯片瑕疵检测系统主要以日、德厂为主,但受限于光学取像方式 和分辨率问题,生产线现况大多依靠人工以显微镜来检测芯片的背面与边缘瑕疵。
因应半导体业于IC检测需求,仪科与均华共同开发「高性能线数组芯片瑕疵取像检测模块」,大幅提振效能以及提高正确率逾99%,提升芯片质量控管。均华总经理许鸿铭表示,此产品主要用于driverIC生产,「这类技术台湾甚至领先韩国」,他断言,今年起driverIC检查将从原本的非必要项目变成重要之标准化设备。
许鸿铭也说,即使新研发可让生产成本降低,但「建构技术门坎才是保证价值最好方法」,更有利于抢到一线生产厂的订单。据悉,目前此机台模块已销售给国内台积电、韩国半导体制造大厂三星等,显示此产品已具备国际竞争力。
另外,仪科中心也为晶电客制开发「LED芯片瑕疵检测设备」,以高解析光机装置取得芯片影像,进行影像萃取与瑕疵检测,完成全晶圆影像地图,可进行LED芯片边缘崩缺及电极断线等精密检测,为我LED产业自制国产检测机台开创新页。
晶电协理许嘉良表示,以业者角度来说,假设质量不够,会因为一个小设备而影响整个产线,国内部分公司对于使用在地化设备,仍感到忧心,但与仪科合作之后,相信国内确实有此研发能力。