据了解，未来5至10年内，台积电将走向5-7纳米技术制程，惟新技术制程投资计划用电需求高达210万千瓦、成长幅度达85%，为求取用电稳定性，台积电正评估自设发电设备可行性，以因应缺电不确定风险。
　　对于台积电预计投入多少金额来兴建电厂?全省会有几座?最快何时开始发电?等诸多细节，台积电昨(30)日则相当低调，仅以一句「评估中」带过。
　　为因应大陆半导体红色供应链掘起，台积电董座张忠谋7月向毛揆建议鬆绑12吋晶圆厂独资登陆，抢佔全球订单市佔率，毛揆可望在今、明二天听取简报后核定，交经部公告。
　　除大陆布局外，台积电未来5-10年，为维持全球核心技术领先，在台湾将持续提出诸多新制程技术晶圆厂投资计划，包括走向5-7纳米新制程应用超紫外线(EUV)核心技术，日前已向经长邓振中报告。
　　知情人士透露，10年内台积电因应先进技术投资计划用电量需求大增，目前台积电全省各厂用电约110万千瓦、占台电供电3.7%，相当核电厂一部机组，10年内新增用电需求210万千瓦、用电成长85%，相较石化、钢铁等高耗能产业更紧张且关切国内供电情形。
　　台积电希望台电新机组提前完工，降低电力供应不确定性，建议成立电力沟通;据悉，经济部决与半导体协会搭建电力沟通平台，每隔3或6个月由经部及台电定期向半导体产业说明电力供需情势，让业者及早布局投资计划。
　　据了解，台积电积极向经济部及台电垂询自设发电机法规事宜，官员说，现行电业法规定，厂商可自设发电设备，但限于厂区内自用。若台积电要投资具经济规模发电厂供应中科或南科，将面临很大问题，除需另觅土地建厂外，自用线路须拉很长，除非委由台电代输，惟此须电业法修正案鬆绑。
　　在野党下会期有意提出绿版电业法修正草案，经济部也有意加速开放发电业自由化，近期政院检讨下会期优先法案，经部将力争将电业法修正案纳入。
　　台电坦言，新电厂计划例如林口、大林，都有延宕，很多外在环保或突发工程障碍无法掌控，林口一号机80万千瓦预计明年7/1日商机，落后半年;大林新增1号机明年9/1日商转，落后2个月。另核一厂一号机迟无法重启运转，且核电政策未明朗化，都是供电不确定因素。
　　台积电先前指出，从半导体产业角度，需要非常稳定、充足的电力，但现在社会上意见相左，对台积电而言，「可以不要核电，但要有替代能源方案，否则产业怎麽走得下去?