MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与

合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

MEMS技术在未来的发展主要表现在以下几个方面：第一，微型化的同时降低功耗。将会出现微米甚至纳米级别的微型器件，同时降低功

耗;第二，微型化的同时提高精度，将MEMS加速度计做到石英加速度计的噪声特性，保证MEMS陀螺仪小体积的同时获得光纤陀螺仪的零偏

稳定性，且可提供远优于光纤陀螺仪的抗冲击特性;第三，集成化及智能化趋势，即MEMS与IC的集成制造技术及多参量MEMS传感器的集成

制造技术得到发展，以及在集成化基础上使得信号检测具有一定的自动化。这些趋势要求半导体厂商提供更高精度、稳定性更好、更智

能的高集成度MEMS传感器模块。基于此，ADI继续将重点放在开发MEMS传感器的核心技术，以提供最好的工业级加速度计和陀螺仪。同时

，ADI还将继续提供更多高集成度的MEMS传感器，以适应不同市场的需求。

尽管去年不利的宏观经济环境冲击了全球半导体产业，但中国MEMS市场却逆势增长了19%，达到19亿美元。消费者热捧装备MEMS器件的移

动产品，尤其是智能手机与媒体平板。今年中国MEMS采购金额将增长到23亿美元，2016年达到30亿美元，复合年度增长率达13.4%。

中国最大的MEMS应用市场是数据处理市场，包括数字光处理(DLP)和喷墨打印头等MEMS器件。2012年中国数据处理市场的总体MEMS消费额

是4.99亿美元，比2011年略有下降。

目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。大多数工业观察家预测，未来5年MEMS器件的

销售额将呈迅速增长之势，年平均增加率约为18%，因此对机械电子工程、精密机械及仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇

和严峻的挑战。